(無(wú)塵室的濕度控制)
無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ),控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間,被設(shè)計(jì)成特殊構(gòu)造的封閉區(qū)域。隨著生產(chǎn)行業(yè)越來(lái)越重視質(zhì)量檢查,對(duì)缺陷零容忍和嚴(yán)格的生產(chǎn)實(shí)踐標(biāo)準(zhǔn),如今對(duì)無(wú)塵室的要求越來(lái)越高。
無(wú)塵室的主要應(yīng)用領(lǐng)域是電子工業(yè)、制藥、航空航天、汽車、信息技術(shù)以及許多需要更嚴(yán)格制造條件的其他領(lǐng)域。無(wú)塵室的應(yīng)用范圍:顯微鏡下的小組件、電子設(shè)備和儀器的制造;對(duì)藥物和食品的無(wú)菌性和純度的日益增長(zhǎng)的需求;用于醫(yī)學(xué)和生物應(yīng)用的無(wú)菌環(huán)境。
無(wú)塵室的污染物可以來(lái)自各種各樣的來(lái)源:空氣(潔凈度是根據(jù)無(wú)塵室的種類和灰塵的種類來(lái)確定的)、水分、化學(xué)品、植物本身和工作人員。
其中濕度會(huì)帶來(lái)許多影響:
微生物生長(zhǎng)與腐蝕
工作臺(tái)表面的凝結(jié)導(dǎo)致生產(chǎn)計(jì)劃延誤和產(chǎn)品質(zhì)量低劣
導(dǎo)致產(chǎn)品腐敗
下面以半導(dǎo)體和制藥無(wú)塵室的高濕度為例做具體闡述:
在半導(dǎo)體無(wú)塵室里,微電路和微芯片制造需要被稱為光阻的吸濕聚合物來(lái)屏蔽蝕刻過(guò)程的電路線。由于這種材料的吸濕性,它們會(huì)吸收許多水分,因此,微觀電路線被切斷或橋接,導(dǎo)致電路故障。此外,在半導(dǎo)體制造中,當(dāng)晶片制造區(qū)域中的濕度水平波動(dòng)時(shí),可能出現(xiàn)大量的問(wèn)題。烘烤時(shí)間通常會(huì)增加,整個(gè)過(guò)程變得更加難以控制。相對(duì)濕度超過(guò)35%就會(huì)使部件容易受到腐蝕。另外,當(dāng)顯影溶劑噴到晶片上時(shí),溶劑迅速蒸發(fā),冷卻晶片時(shí)也足以冷凝空氣中的水分。這種額外的水分可以改變顯影劑的特性,并被吸收到半導(dǎo)體層上。這可能會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體腫脹和進(jìn)一步的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,需要額外的附加過(guò)程來(lái)補(bǔ)救。
在制藥無(wú)塵室的制藥設(shè)備中,高濕度會(huì)使細(xì)藥粉吸收水分,在藥片壓縮機(jī)上堵塞藥粉流動(dòng)。由于吸濕引起的粉末不一致會(huì)讓藥片不成型和藥效丟失。濕度的變化意味著機(jī)器溫度和噴淋速率難以調(diào)節(jié),導(dǎo)致熱損傷和濕氣侵入。此外,空氣工作管道中的濕度為細(xì)菌生長(zhǎng)創(chuàng)造條件,潮濕的地方還會(huì)引起其他污染。
一般來(lái)說(shuō),無(wú)塵室的相對(duì)濕度應(yīng)控制在35-40%之間,這也是工作要求。如此嚴(yán)格的濕度控制就需要一臺(tái)除濕機(jī),而安詩(shī)曼工業(yè)除濕機(jī)就是你的首選。
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